Lord Shiva is worshipped with all sixteen rituals along with chanting of Puranik Mantras during Maha Shivaratri and other ocassions related to Lord Shiva. Worshipping Gods and Goddesses with all 16 rituals is known as Shodashopachara Puja (षोडशोपचार पूजा).
Puja should begin with the meditation of Lord Shiva. Dhyana should be done in front of Shiva image or idol in front of you. Following Mantra should be chanted while meditating on Lord Shiva.
ध्यायेन्नित्यं महेशं रजतगिरिनिभं चारुचन्द्रावतंसं
रत्नाकल्पोज्ज्वलाङ्गं परशुमृगवराभीतिहस्तं प्रसन्नम्।
पद्मासीनं समन्तात् स्तुतममरगणैर्व्याघ्रकृत्तिं वसानं
विश्वाद्यं विश्वबीजं निखिलभयहरं पञ्चवक्त्रं त्रिनेत्रम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः ध्यानात् ध्यानं समर्पयामि।
Dhyayennityam Mahesham Rajatagirinibham Charuchandravatamsam
Ratnakalpojjvalangam Parashumrigavarabhitihastam Prasannam
Padmasinam Samantat Stutamamaraganairvyaghrakrittim Vasanam।
Vishvadyam Vishwabijam Nikhilabhayaharam Panchavaktram Trinetram॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dhyanat Dhyanam Samarpayami
After Dhyana of Lord Shiva, one should take the Sankalpa for Puja by chanting following Mantra in front of the Murti.
ॐ तत्सत् अद्यैतस्य ब्रह्मणोऽह्नि द्वितीय-प्रहरार्द्धे श्वेत-वराह-कल्पे
जम्बू-द्वीपे भरत-खण्डे अमुक-प्रदेशे अमुक-पुण्य-क्षेत्रे कलियुगे
कलि-प्रथम-चरणे अमुक-सम्वत्सरे अमुक-मासे अमुक-पक्षे
अमुक-तिथौ अमुक-वासरे अमुक-गोत्रोत्पन्नो अमुक-नाम-अहं
मम पापक्षयार्थम् अक्षयमोक्षभोगप्राप्त्यर्थं शिवरात्रिव्रतं करिष्ये।
Om Tatsat Adyaitasya Brahmanoahni Dvitiya-Prahararddhe Shveta-Varaha-Kalpe
Jambu-Dvipe Bharata-Khande Amuka-Pradeshe Amuka-Punya-Kshetre Kaliyuge
Kali-Prathama-Charane Amuka-Samvatsare Amuka-Mase Amuka-Pakshe
Amuka-Tithau Amuka-Vasare Amuka-Gotrotpanno Amuka-Nama-Aham
Mama Papakshayartham Akshaya-Moksha-Bhoga-Praptyartham Shivaratri-Vratam Karishye
After Dhyana of Lord Shiva, one should chant following Mantra in front of the Murti, by showing Avahan Mudra (Avahan Mudra is formed by joining both palms and folding both thumbs inwards).
ॐ सहस्रशीर्षा पुरुषः सहस्राक्षः सहस्रपात्।
स भूमिं विश्वतो वृत्वा अत्यतिष्ठद्दशाङ्गुलम्॥
आगच्छ देवदेवेश मर्त्यलोकहितेच्छया।
पूजयामि विधानेन प्रसन्नः सुमुखो भव॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः देवेशम् आवाहयामि।
Om Sahasrashirsha Purushah Sahasrakshah Sahasrapat।
Sa Bhumim Vishvato Vritva Atyatishthaddashangulam॥
Agachchha Devadevesha Martyalokahitechchhaya।
Pujayami Vidhanena Prasannah Sumukho Bhava॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Devesham Avahayami।
After Lord Shiva has been invoked, take five flowers in Anjali (by joining palm of both hands) and leave them in front of the Murti to offer seat to Lord Shiva while chanting following Mantra.
पुरुष एवेदगं सर्वम् यद्भूतं यच्छ भव्यम्।
उतामृतत्वस्येशानः यदन्नेनातिरोहति॥
सदासनं कुरु प्राज्ञ निर्मलं स्वर्णनिर्मितम्।
भूषितं विविधै रत्नैः कुरु त्वं पादुकासनम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आसनं कल्पयामि।
Purusha Evedagam Sarvam Yadbhutam Yachchha Bhavyam।
Utanritatvasyeshanah Yadannenatirohati॥
Sadasanam Kuru Prajna Nirmalam Svarnanirmitam।
Bhushitam Vividhai Ratnaih Kuru Tvam Padukasanam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Asanam Kalpayami।
After Asana offering, offer water to Shri Shiva to wash the feet while chanting following Mantra.
एतावानस्य महिमा अतो ज्यायागंश्च पूरुषः।
पादोऽस्य विश्वा भूतानि त्रिपादस्यामृतं दिवि॥
गङ्गादिसर्वतीर्थेभ्यो मया प्रार्थनयाहृतम्।
तोयमेतत्सुखस्पर्शं पाद्यार्थं प्रतिगृह्यताम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः पाद्यं समर्पयामि।
Etavanasya Mahima Ato Jyayaganshcha Purushah।
Padoasya Vishva Bhutani Tripadasyanritam Divi॥
Gangadisarvatirthebhyo Maya Prarthanayahritam।
Toyametatsukhasparsham Padyartham Pratigrihyatam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Padyam Samarpayami।
After Padya offering, offer water to Lord Shiva for head Abhishekam while chanting following Mantra.
त्रिपादूर्ध्व उदैत्पुरुषः पादोऽस्येहाभवात्पुनः।
ततो विश्वङ्व्यक्रामत् साशनानशने अभि॥
गन्धोदकेन पुष्पेण चन्दनेन सुगन्धिना।
अर्घ्यं गृहाण देवेश भक्तिं मे ह्यचलां कुरु॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः अर्घ्यं समर्पयामि।
Tripadurdhva Udaitpurushah Padoasyehabhavatpunah।
Tato Vishvanvyakramat Sashananashane Abhi॥
Gandhodakena Pushpena Chandanena Sugandhina।
Arghyam Grihana Devesha Bhaktim Me Hyachalam Kuru॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Arghyam Samarpayami।
After Arghya offering, offer Arghya to Lord Shiva according to the Prahara of the day. While reciting the following Mantra, offer Arghya for the first Prahara.
नमः शिवाय शान्ताय सर्वपापहराय च।
शिवरात्रौ मया दत्तं गृहाणार्घ्यं प्रसीद मे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः प्रथमप्रहरस्य अर्घ्यं समर्पयामि।
Namah Shivaya Shantaya Sarvapapaharaya Cha।
Shivaratrau Maya Dattam Grihanarghyam Prasida Me॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah
Prathamapraharasya Arghyam Samarpayami।
After the First Prahara, offer the Second Prahar Arghya to Lord Shiva while chanting the following Mantra.
मया कृतान्यनेकानि पापानि हर शङ्कर।
गृहाणार्घ्यम् उमाकान्त शिवरात्रौ प्रसीद मे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः द्वितीयप्रहरस्य अर्घ्यं समर्पयामि।
Maya Kritanyanekani Papani Hara Shankara।
Grihanarghyam Umakanta Shivaratrau Prasida Me॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah
Dvitiyapraharasya Arghyam Samarpayami।
After the Second Prahara, offer the Third Prahar Arghya to Lord Shiva while chanting the following Mantra.
दुःखदारिद्र्यभावैश्च दग्धोऽहं पार्वतीपते।
मां वै त्राहि महादेव गृहाणार्घ्यं नमोऽस्तु ते॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः तृतीयप्रहरस्य अर्घ्यं समर्पयामि।
Duhkhadaridryabhavaishcha Dagdhoaham Parvatipate।
Mam Vai Trahi Mahadeva Grihanarghyam Namoastu Te॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah
Tritiyapraharasya Arghyam Samarpayami।
After the Third Prahara, offer the Fourth Prahar Arghya to Lord Shiva while chanting the following Mantra.
किं न जानासि देवेश तावद्भक्तिं प्रयच्छ मे।
स्वपादाग्रतले देव दास्यं देहि जगत्पते॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः चतुर्थप्रहरस्य अर्घ्यं समर्पयामि।
Kim Na Janasi Devesha Tavadbhaktim Prayachchha Me।
Svapadagratale Deva Dasyam Dehi Jagatpate॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah
Chaturthapraharasya Arghyam Samarpayami।
After Arghya offering, offer water to Lord Shiva for Achamana while chanting following Mantra.
तस्माद्विराडजायत विराजो अधि पूरुषः।
स जातो अत्यरिच्यत पश्चाद्भूमिमथो पुरः॥
कर्पूरोशीरसुरभि शीतलं विमलं जलम्।
गङ्गायास्तु समानीतं गृहाणाचमनीयकम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आचमनीयं समर्पयामि।
Tasmadviradajayata Virajo Adhi Purushah।
Sa Jato Atyarichyata Pashchadbhumimatho Purah॥
Karpuroshirasurabhi Shitalam Vimalam Jalam।
Gangayastu Samanitam Grihanachamaniyakam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Achamaniyam Samarpayami।
After Achamaniya offering, give a bath with to Lord Shiva while chanting following Mantra.
यत्पुरुषेण हविषा देवा यज्ञमतन्वत।
वसन्तो अस्यासीदाज्यम् ग्रीष्म इध्मश्शरद्धविः॥
मन्दाकिन्याः समानीतं हेमाम्भोरुहवासितम्।
स्नानाय ते मया भक्त्या नीरं स्वीक्रियतां विभो॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः स्नानं समर्पयामि।
Yatpurushena Havisha Deva Yajnamatanvata।
Vasanto Asyasidajyam Grishma Idhmashsharaddhavih॥
Mandakinyah Samanitam Hemambhoruhavasitam।
Snanaya Te Maya Bhaktya Niram Svikriyatam Vibho॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Snanam Samarpayami।
After Snana, now offer new clothes to Lord Shiva while chanting following Mantra.
तं यज्ञं बर्हिषि प्रौक्षन् पुरुषं जातमग्रतः।
तेन देवा अयजन्त साध्या ऋषयश्च ये॥
वस्त्रं सूक्ष्मं दुकूलं च देवानामपि दुर्लभम्।
गृहाण त्वमुमाकान्त प्रसन्नो भव सर्वदा॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः वस्त्रं समर्पयामि।
Tam Yajnam Barhishi Praukshan Purusham Jatamagratah।
Tena Deva Ayajanta Sadhya Rishayashcha Ye॥
Vastram Sukshmam Dukulam Cha Devanamapi Durlabham।
Grihana Tvamumakanta Prasanno Bhava Sarvada॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Vastram Samarpayami।
After Vastra offering, offer holy thread to Lord Shiva while chanting following Mantra.
तस्माद्यज्ञात्सर्वहुतः संभृतं पृषदाज्यम्।
पशूगँस्तागंश्चक्रे वायव्यान् आरण्यान् ग्राम्याश्च ये॥
यज्ञोपवीतं सहजं ब्रह्मणा निर्मितं पुरा।
आयुष्यं ब्रह्मवर्चस्कम् उपवीतं गृहाण मे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः यज्ञोपवीतं समर्पयामि।
Tasmadyajnatsarvahutah Sambhritam Prishadajyam।
Pashuganstaganshchakre Vayavyan Aranyan Granyashcha Ye॥
Yajnopavitam Sahajam Brahmana Nirmitam Pura।
Ayushyam Brahmavarchaskam Upavitam Grihana Me॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Yajnopavitam Samarpayami।
After Yajnopavita offering, offer sandalwood paste or powder to Lord Shiva while chanting following Mantra.
तस्माद्यज्ञात्सर्वहुतः ऋचः सामानि जज्ञिरे।
छन्दाँसि जज्ञिरे तस्मात् यजुस्तस्मादजायत॥
श्रीखण्डं चन्दनं दिव्यं गंधाढ्यं सुमनोहरम्।
विलेपनं सुरश्रेष्ठ! चन्दनं प्रतिगृह्यताम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः गन्धं समर्पयामि।
Tasmadyajnatsarvahutah Richah Samani Jajnire।
Chhandansi Jajnire Tasmat Yajustasmadajayata॥
Shrikhandam Chandanam Divyam Gandhadhyam Sumanoharam।
Vilepanam Surashreshtha! Chandanam Pratigrihyatam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Gandham Samarpayami।
After Chandan offering, offer flowers to Lord Shiva while chanting following Mantra.
तस्मादश्वा अजायन्त ये के चोभयादतः।
गावो ह जज्ञिरे तस्मात् तस्माज्जाता अजावयः॥
माल्यादीनि सुगन्धीनि मालत्यादीनि वै प्रभो।
मयाऽऽनीतानि पुष्पाणि गृहाण परमेश्वर॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः पुष्पाणि समर्पयामि।
Tasmadashva Ajayanta Ye Ke Chobhayadatah।
Gavo Ha Jajnire Tasmat Tasmajjata Ajavayah॥
Malyadini Sugandhini Malatyadini Vai Prabho।
Mayaanitani Pushpani Grihana Parameshvara॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Pushpani Samarpayami।
After Pushpa offering, offer Dhupa to Lord Shiva while chanting following Mantra.
यत्पुरुषं व्यदधुः कतिधा व्यकल्पयन्।
मुखं किमस्य कौ बाहू कावूरू पादावुच्येते॥
वनस्पतिरसोद्भूतो गन्धाढ्यो गन्ध उत्तमः।
आघ्रेयः सर्वदेवानां धूपोऽयं प्रतिगृह्यताम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः धूपम् आघ्रापयामि।
Yatpurusham Vyadadhuh Katidha Vyakalpayan।
Mukham Kimasya Kau Bahu Kavuru Padavuchyete॥
Vanaspatirasodbhuto Gandhadhyo Gandha Uttamah।
Aghreyah Sarvadevanam Dhupoayam Pratigrihyatam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dhupam Aghrapayami।
After Dhupam offering, offer enlightened earthen lamp of pure Ghee to Lord Shiva while chanting following Mantra.
ब्राह्मणोस्य मुखमासीत् बाहू राजन्यः कृतः।
ऊरू तदस्य यद्वैश्यः पद्भ्यां शूद्रोऽजायत॥
साज्यं च वर्तिसंयुक्तं वह्निना योजितं मया।
दीपं गृहाण देवेश! त्रैलोक्यतिमिरापहम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः दीपं दर्शयामि।
Brahmanosya Mukhamasit Bahu Rajanyah Kritah।
Uru Tadasya Yadvaishyah Padbhyam Shudroajayata॥
Sajyam Cha Vartisanyuktam Vahnina Yojitam Maya।
Dipam Grihana Devesha! Trailokyatimirapaham॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dipam Darshayami।
After Deepam offering, wash your hands and offer Naivedya. It should include different type of fruits and sweets and offer this to Lord Shiva while chanting following Mantra.
ॐ चन्द्रमा मनसो जातः चक्षोः सूर्यो अजायत।
मुखादिन्द्रश्चाग्निश्च प्राणाद्वायुरजायत॥
नैवेद्यं गृह्यतां देव भक्तिं मे ह्यचलां कुरु।
इप्सितं मे वरं देहि परत्र च परां गतिम्॥
शर्कराखण्डखाद्यनि दधिक्षीरघृतानि च।
आहारं भक्ष्यभोज्यं च नैवेद्यं प्रतिगृह्यताम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः नैवेद्यं निवेदयामि।
Om Chandrama Manaso Jatah Chakshoh Suryo Ajayata।
Mukhadindrashchagnishcha Pranadvayurajayata॥
Naivedyam Grihyatam Deva Bhaktim Me Hyachalam Kuru।
Ipsitam Me Varam Dehi Paratra Cha Param Gatim॥
Sharkarakhandakhadyani Dadhikshiraghritani Cha।
Aharam Bhakshyabhojyam Cha Naivedyam Pratigrihyatam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Naivedyam Nivedayami।
After offering Naivedyam, offer betel leaf (Tambula) to Lord Shiva while chanting following Mantra.
पूगीफलं महद्दिव्यं नागवल्लीदलैर्युतम्।
ऐलाचूर्णादिसंयुक्तं ताम्बूलं प्रतिगृह्यताम्॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः ताम्बूलं समर्पयामि।
Pugiphalam Mahaddivyam Nagavallidalairyutam।
Ailachurnadisanyuktam Tambulam Pratigrihyatam॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Tambulam Samarpayami।
After offering Tambulam, offer Dakshina to Lord Shiva while chanting following Mantra.
हिरण्यगर्भगर्भस्थं हेमबीजं विभावसोः।
अनन्तपुण्यफलदमतः शान्तिं प्रयच्छ मे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः दक्षिणां समर्पयामि।
Hiranyagarbhagarbhastham Hemabijam Vibhavasoh।
Anantapunyaphaladamatah Shantim Prayachchha Me॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dakshinam Samarpayami।
After offering Dakshina, offer Aarti with lit camphor in Puja Thali to fruits while chanting following Mantra. After chanting following Mantra sing Shri Shiva Aarti in praise of Lord Shiva.
चक्षुर्दं सर्वलोकानां तिमिरस्य निवारणम्।
आर्तिक्यं कल्पितं भक्त्या गृहाण परमेश्वर॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः नीराजनं समर्पयामि।
Chakshurdam Sarvalokanam Timirasya Nivaranam।
Artikyam Kalpitam Bhaktya Grihana Parameshvara॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Nirajanam Samarpayami।
After Aarti, now offer fruits to Lord Shiva while chanting following Mantra.
फलेन फलितं सर्वं त्रैलोक्यं सचराचरम्।
तस्मात् फलप्रदादेन पूर्णाः सन्तु मनोरथाः॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः फलं समर्पयामि।
Phalena Phalitam Sarvam Trailokyam Sacharacharam।
Tasmat Phalapradadena Purnah Santu Manorathah॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Phalam Samarpayami।
After offering fruits, now offer symbolic Pradakshina (circumambulate from left to right of Shri Satyanarayan) with flowers in hand while chanting following Mantra.
नाभ्या आसीदन्तरिक्षम् शीर्ष्णो द्यौः समवर्तत।
पद्भ्यां भूमिर्दिशः श्रोत्रात् तथा लोकाँ अकल्पयन्॥
यानि कानि च पापानि ब्रह्महत्यासमानि च।
तानि तानि विनश्यन्ति प्रदक्षिणे पदे पदे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः प्रदक्षिणां समर्पयामि।
Nabhya Asidantariksham Shirshno Dyauh Samavartata।
Padbhyam Bhumirdishah Shrotrat Tatha Lokam Akalpayan॥
Yani Kani Cha Papani Brahmahatyasamani Cha।
Tani Tani Vinashyanti Pradakshine Pade Pade॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Pradakshinam Samarpayami।
After symbolic Pradakshina, offer salute to Lord Shiva while chanting following Mantra.
सप्तास्यासन् परिधयः त्रिःसप्त समिधः कृताः।
देवा यद्यज्ञं तन्वानाः अबध्नन्पुरुषं पशुम् ।
तं यज्ञं बर्हिषि प्रौक्षन्। पुरुषं जातमग्रतः॥
मन्त्रहीनं क्रियाहीनं भक्तिहीनं सुरेश्वर!।
यत्पूजितं मया देव परिपूर्णं तदस्तु मे॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः नमस्कारं समर्पयामि।
Saptasyasan Paridhayah Trihsapta Samidhah Kritah।
Deva Yadyajnam Tanvanah Abadhnanpurusham Pashum ।
Tam Yajnam Barhishi Praukshan। Purusham Jatamagratah॥
Mantrahinam Kriyahinam Bhaktihinam Sureshvara!।
Yatpujitam Maya Deva Paripurnam Tadastu Me॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Namaskaram Samarpayami।
After Namaskara, offer incantations and flowers to Lord Shiva while chanting following Mantra.
यज्ञेन यज्ञमयजन्त देवाः तानि धर्माणि प्रथमान्यासन्।
ते ह नाकम् महिमानः सचन्ते यत्र पूर्वे साध्याः सन्ति देवाः॥
ॐ सद्योजातं प्रपद्यामि सद्योजाताय वै नमो नमः।
भवे भवे नातिभवे भवस्य मां भवोद्भवाय नमः॥
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः मन्त्रपुष्पाञ्जलिं समर्पयामि।
Yajnena Yajnamayajanta Devah Tani Dharmani Prathamanyasan।
Te Ha Nakam Mahimanah Sachante Yatra Purve Sadhyah Santi Devah॥
Om Sadyojatam Prapadyami Sadyojataya Vai Namo Namah।
Bhave Bhave Natibhave Bhavasya Mam Bhavodbhavaya Namah॥
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah
Mantrapushpanjalim Samarpayami।
After offering flowers, pray to Lord Shiva by while chanting following Mantra.
यस्य स्मृत्या च नामोक्त्या तपोयज्ञक्रियादिषु।
नूनं सम्पूर्णतां यातु सद्यो वन्देतमच्युतम्।
ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः प्रार्थनां समर्पयामि।
Yasya Smritya Cha Namoktya Tapoyajnakriyadishu।
Nunam Sampurnatam Yatu Sadyo Vandetamachyutam।
Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Prarthanam Samarpayami।